Pengaruh Perlakuan Panas terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO di atas ITO

Abstract

Lapisan tipis ZnO telah terdeposisi pada substrat kaca ITO (Indium Tin Oxide) dengan metode sol-gel spin-coating. Zink asetat digunakan sebagai prekursor, isopropanol sebagai pelarutdan ethanolamine sebagai penstabil. Perlakuan anil setelah deposisi dilakukan dengan variasi temperatur 300, 400 dan 500ËšC selama 1 jam di udara untuk mempelajari efek anil pada sifat optik. Karakterisasi sifat optik meliputi, transmitansi, absobansi dan celah pita optik (optical band gap) dari lapisan tipis ZnO dilakukan dengan menggunakan UV-Vis Spektroskopi. Film tipis ZnO yang tebentuk memiliki transmitansi di atas 80% pada daerah cahaya tampak. Selain itu, absorbansi masksimum diperoleh pada panjang gelombang rendah dalam rentang 300-390 nm untuk semua lapisan tipis ZnO yang dianil pada temperatur berbeda. Peningkatan temperatur anil pada lapisan tipis ZnO berakibat pada bertambah lebar celah pita optik, yaitu dari 3.0 eV ke 3.3 eV. Sifat optik dari lapisan tipis ZnO yang dideposisikan dengan metode sol-gel spin-coating sangat dipengaruhi oleh perlakuan anil setelahnya.