MOBILITAS PEMBAWA MUATAN PADA OFET (ORGANIC FIELD EFFECT TRANSISTOR) BERBASIS FILM TIPIS

Abstract

Abstrak

__________________________________________________________________________________________

Tujuan penelitian ini adalah pembuatan dan karakterisasi pada OFET (Organic Field Effect Transistor) berbasis film tipis dengan struktur bottom-contact. Pembuatan OFET dilakukan dengan cara pencucian substrat dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan deposisi elektroda source dan drain di atas substrat SiO₂ dengan metode  penguapan hampa udara pada suhu ruang dan teknik lithography. Selanjutnya dilakukan deposisi film tipis CuPc diantara source (S) dan drain (D) sebagai panjang saluran (channel) dan diakhiri dengan deposisi elektrode gate (G). Karakterisai OFET berbasis film tipis dilakukan dengan El-Kahfi 100, untuk menentukan karakteristik keluaran V-I. Hasil karakterisasi OFET dengan panjang channel (L) 100 μm dan lebar (W) 1 mm, mempunyai daerah aktif, yaitu: 2,80 V sampai dengan 3,42. Mobilitas pembawa muatan OFET untuk daerah saturasi, µ = 0,00182278 cm² /Vs dan untuk daerah linier, µ = 0,000343818  cm² /Vs

Abstract

__________________________________________________________________________________________

The purpose of this research is to produce and characterize the OFET (Organic Field Effect Transistor) based on thin film with bottom-contact structure. The OFET production consists of the substract wash by using ethanol in the ultrasonic cleaner, then electrode deposition of source and drain on the SiO₂ substract by using vacuum evaporation in the room temperature and lithography technique.  Then, the deposition of thin film of CuPc between source (S) and drain (D) was done as the channel length and ended with electrode gate (G) deposition. The OFET characterization  with channel length (L)  100 μm and wide (W) 1 mm  obtained the active area of 2,80 - 3,42 v. While the mobility of OFET charge carrier  obtained µ =  0,00182278 cm² /Vs for the saturation area and µ = 0,000343818  cm² /Vs for linier area.